Масс-спектрометрический метод

Способ опрессовки в камере

Способ опрессовки в камере применяется для определения суммарной негерметичности контролируемых объектов. Порог чувствительности способа 6∙10^-13м³Па/с. Сущность способа заключается в том, что контролируемое изделие помещается в герметичную металлическую камеру. К объекту контроля подсоединяется течеискатель через систему вспомогательной откачки, после чего в камеру (контрольный газ снаружи изделия) подается под давлением гелий. При наличии течи гелий в результате перепада давлений поступает в вакуумируемый объем, соединенный с течеискателем.

Способ вакуумной камеры

Способ вакуумной камеры аналогичен предыдущему способу контроля и также применяется для определения суммарной негерметичности контролируемых объектов. Порог чувствительности способа 6∙10^-13 м³Па/с. Сущность способа заключается в том, что контролируемое изделие помещается в герметичную металлическую камеру к которой подсоединяется течеискатель через систему вспомогательной откачки, после чего в изделие (контрольный газ внутри изделия) подается под давлением гелий. При наличии течи гелий в результате перепада давлений поступает в вакуумируемый объем, соединенный с течеискателем.

Эти методы имеют высокую чувствительность, однако позволяют определить только суммарную негерметичность изделия. При этом оба метода накладывают ограничения на размер изделия - оно должно разметисться в габаритах внутреннего пространства вакуумной камеры.